單袋過濾器在半導(dǎo)體行業(yè)中有些哪些作用
單袋過濾器在半導(dǎo)體行業(yè)中的過濾是一種粗級(jí)過濾,通常不是單獨(dú)使用的,會(huì)配合其他設(shè)備一起,單袋過濾器提供前端晶圓和芯片加工過濾、電子蝕刻酸浴過濾、光化學(xué)拋光、高純水過濾及各種膜過濾工藝的預(yù)過濾。
電子冷卻水的過濾、清除鋅溶液中的鋅沉積物、清除銅箔電解穩(wěn)定槽中雜質(zhì)。液壓油過濾、貴重金屬如鋁、銀、鉛等金屬過濾,清除泥污噴漆、涂料的濾清、金屬加工液壓油過濾、預(yù)處理系統(tǒng)過濾、貴金屬回收、金屬加工液及拉拔用潤(rùn)滑劑。
半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)的都是些高精密的芯片、電路板等設(shè)備,這些精密儀器都是需要超純水進(jìn)行清洗的,袋式過濾器與RO膜、EDI形成的層層過濾系統(tǒng),最終過濾出工業(yè)用超純水。
單袋過濾器還可用于半導(dǎo)體高溫鍋爐用水過濾,過濾過濾通常使用10μm不銹鋼金屬絲網(wǎng)濾袋。金屬絲網(wǎng)耐高溫,耐腐蝕,不易變形。
單袋過濾器在半導(dǎo)體行業(yè)中有哪些優(yōu)勢(shì)
1. 單袋過濾器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單穩(wěn)定,安裝方便,可以移動(dòng)安裝在工業(yè)產(chǎn)線上,根據(jù)工業(yè)需要隨時(shí)調(diào)整安裝工位。
2. 單袋過濾器過濾范圍廣,精度值在1-600μm之間,可以進(jìn)行很多工藝環(huán)節(jié)的過濾。
3. 濾袋材質(zhì)多樣,濾袋生產(chǎn)是根據(jù)嚴(yán)格的生產(chǎn)技術(shù)制造,利用壓力和高溫貼合于不同的針刺氈表面。在與熱塑性纖維氈貼合時(shí),用特殊表面處理技術(shù)將其針刺氈的表面先做處理,然薄膜覆合,以達(dá)到最強(qiáng)的貼合效果。
4. 袋式過濾器產(chǎn)水量大,持續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng),在水質(zhì)穩(wěn)定的情況下,極少發(fā)生突發(fā)事故。
單袋過濾器目前能做到的過濾精度在1μm以上,在半導(dǎo)體行業(yè)中,通常都是和其他過濾設(shè)備,如保安過濾器、RO反滲透膜組、EDI除鹽設(shè)備配合使用的。隨著新型能源的不斷發(fā)展,袋式過濾器的過濾精度也在逐步提高,未來在半導(dǎo)體行業(yè)的作用也將更大。
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